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真空度測試儀的研製與應用（yòng）

返回打印來源：儀天（tiān）成電力時（shí）間：2013/07/30 閱（yuè）讀：次（cì）

       真空度測試儀的主要（yào）作用（yòng）是,根據磁控（kòng）放電的方法測量（liàng）真空泡內離子電流,以此量測量泡內真空度,並可用於評定真空（kōng）泡使用壽命。該測試儀既可用於真空泡出廠檢測流水線,也可單獨進行測量。
       基本工作原理
       磁控放電法測試真空度的基本原理如下:將真空泡兩觸頭拉開一（yī）定的（de）開距,並置於通有大電流的螺線管內,在兩觸頭間施加高壓脈衝,從而在真空泡內產生高壓電場和軸向脈衝磁場。這樣,在脈衝強磁場和強（qiáng）電（diàn）場的作用下,真空泡中的電子作螺旋運動,並與殘餘氣體分子發生碰撞（zhuàng）產生電離,生成的離子（zǐ）電流與殘餘（yú）氣體密度即（jí）真空度近似成比例關係。
       研製的測試儀可用於測量泄漏電流、全電流和離子電流3個電流值。
       (1)泄漏電流。將真空泡動靜觸（chù）頭拉開一定的間（jiān）距,並（bìng）加高壓直（zhí）流脈（mò）衝電壓,則會在兩（liǎng）觸頭間（jiān）、觸頭和屏（píng）蔽罩間產生強電場。根據場（chǎng）致（zhì）發射理（lǐ）論（lùn）,陰極和屏蔽罩表麵會發射出電子,向陽極（jí）運（yùn）動,形成電流,即泄漏電流。由（yóu）於（yú）電子的自由行程遠遠大於兩觸頭間距,電子幾乎不與真空泡內殘餘氣體分子發生碰（pèng）撞,所以泄漏電流不能正確反應真空泡的（de）真空度。
       (2)全電流。為了使泄漏電流（liú）的電子能夠與殘餘氣體分子發生碰撞,目（mù）前常用的方法是在軸向（xiàng）上加一（yī）較強的磁場,使得場致發（fā）射的電子在電場和（hé）磁場的（de）共（gòng）同作（zuò）用下發（fā）生螺旋運動,這加大了電子運動的行程及與殘餘氣體分子發生碰撞的概（gài）率（lǜ）。當電子與殘餘氣體分子發生碰撞後（hòu）會產生電離現象,並形成穩定的自持放電,這時測量（liàng）出的電流值為全（quán）電流值。
       (3)離子電流。全電流的測量值包括（kuò）了（le）陰極和屏蔽罩發射的泄漏電流,以及殘餘氣體被碰撞（zhuàng）後產生電離的離子電流。為了準（zhǔn）確測（cè）量真（zhēn）空泡內的真空度,還得從全（quán）電流中減掉（diào）泄漏電流值（zhí）,得到的才是真正反（fǎn）映真空泡真空度的離子電流（liú）值。真空泡使用壽命評定原理:真空泡隨著正常使用時間的增長,內部真空度也呈（chéng）線性增加。通（tōng）過測定兩（liǎng）個間隔時間（jiān）比較（jiào）恰當時的真空度,就（jiù）可確定其變化率,從（cóng）而確定使用過任意時間（jiān）後真空泡真空度的大小。

      主題詞：真空度測試儀工作原理

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